인증기관 :  경기지방중소기업청

인증기간 : 2008.12.2 ~ 2011.12.1

인증대상 : Organic Wet Station

인증기관 :  TUV Rheinland Korea Ltd.

인증일자 : 2008.6.26

인증범위 : 반도체 제조용기기의 설계,개발,
제조,부가서비스

인증번호 : CI/5534

인증평가기관 :  UKAS 산하 CCAS 인증원

인증기간 : 2004,12,7 ~ 2007,12,6
인증연장 : 2007.12.7 ~ 2010.12.6

인증범위 : 반도체 제조용기기의 설계,개발,
제조,부가서비스

인증번호 : CI/5534

인증평가기관 :  UKAS 산하 CCAS 인증원

인증기간 : 2004,12,7 ~ 2007,12,6
인증연장 : 2007.12.7 ~ 2010.12.6

대상장비 : AUTO WET STATION

인증기관 : 한국산업안전공단

인증일자 : 2005,12,8

인증기관 : 한국산업기술진흥원

신고일자 : 2005,1,21

가입협회 : SEMI

가입일자 : 2006,5.3

가입협회 : 한국반도체 산업협회

가입일자 : 2005,10,11